ULVAC GCD-051Xのオーバーホール

ダメになってる真空ポンプをオーバーホールしてみたので書いて見ます．
雑にオーバーホールしただけなので，精密なことや，消耗品交換はしていません．
しかしながらサビやらなにやらで回らなくなっていた真空ポンプは回るようになり，普通に使えるレベルになったのでとりあえずはいいかなという感じ． オイルを抜いて，モータを外して，オイルで満たされている部分を開けるとこんな感じのポンプ部が出ます．

ちょっとこの取り付け間違っていて，本当は一番手前の部品，45度反時計回りにつけるべきものです．間違えた時に撮影してしまって…．

その部品を外して，開けてやるとこんな感じ．

さらに分解を進めて…

この下が2ndステージ，さらに下が1stステージです．
この先の写真を撮るのを忘れてしまっていました…．

全部バラすとこんな感じになります．

ロータリ部分のブラシ？はカーボン製，バネが入っていて外壁にカーボンブラシが密着するようになっています．
ツーステージポンプなので，部屋が2つあって，1段目は大きく，2段目は少し小さい部屋です．1stステージで圧縮したものをさらに2ndステージで圧縮して，ワンステージポンプよりも高真空が得られるようになっています．
部品点数はそれほど多くなく，簡単に分解清掃できました．
サビを落としたり洗浄して，適度に真空ポンプ用オイルを塗りながら再度組み上げを行い，モータを取り付ける前に人間の力で軽く数回回してあげて抵抗がありすぎてモータがストールするようなことがないかをチェックします．六角レンチとかをカップリングのところに噛ませてよいしょと回す感じ．交流モータの力で回る程度なら問題ないでしょう．最初は周りがしぶくてモータをストールさせてしまいました．モータに安全ブレーカが入っていた（過電流時にボタンが飛び出るタイプのアレです）のでなんとか助かりました．焼けるところだった．
そして数時間ほどガスバラストバルブを開けて，吸気口には適当に抵抗をかけて（ふさいで）あげて（この真空ポンプは10kPa以上の高真空が不得意ですので），慣らし運転をしてあげます．これでポンプのお部屋もカーボンによって研磨されて，可動部の細かなサビも擦れて取れてくることでしょう．一旦回るようになればあとは回すことで抵抗はだんだんと減って普通に使えるポンプになるはずです．直して動かした感じではちゃんと引けてそうでした．もとの到達圧力になるか，排気速度は保てているか，など，評価の指標はたくさんありますが，必要に応じて測定すればよいでしょう．私の用途ではそれは重要ではないので，ある程度きちんと引けてくれればよし，ですので，これでOKです．というか油回転ポンプなんてそんな用途でしか使わないことが多いでしょうから，そこまで厳密な性能は多くの場合で必要ないのではないでしょうか，と思います．
というわけでオーバーホールできました．めでたし．